Когда длина в одном направлении меньше длины в двух других направлениях, такая структура называется тонкой пленкой. В настоящее время при постоянном применении микроэлектронных пленок, оптических пленок, анти-окислительных пленок, гигантских магниторезистивных пленок, высоко-пленок сверхпроводников и т. д. в промышленном производстве и в жизни человека, толщина пленок, производимых в промышленности, является очень важным параметром, напрямую связанным с тем, может ли материал пленки нормально работать.
Обычно под толщиной пленки понимают расстояние между поверхностью подложки и поверхностью пленки. Фактически, поверхность пленки неровная и прерывистая, на ней имеются отверстия, микротрещины, волокна, примеси, дефекты решетки и молекулы, адсорбированные на поверхности. Например, различные тонкие пленки в процессе производства крупномасштабных интегральных схем будут иметь прямое влияние на производительность интегральных схем из-за постоянного улучшения степени интеграции схем и любых небольших изменений толщины тонкой пленки. Кроме того, механические свойства, свойства светопропускания, магнитные свойства, теплопроводность, структура поверхности и т. д. тонкопленочных материалов тесно связаны с толщиной. Таким образом, точное онлайн-измерение толщины пленки в производственном процессе является важным средством обеспечения качества продукции и повышения эффективности производства.
Точное измерение толщины пленки зависит от того, какой тип датчика толщины используется. В настоящее время существует в основном несколько методов онлайн-технологии определения толщины пленки:
1. Бета-зонд — самый ранний датчик, используемый для обнаружения тонких пленок. В качестве источника сигнала он использует источник бета-излучения, и технология является зрелой. Однако для использования радиоактивных источников требуется лицензия, а процедуры импорта и экспорта относительно сложны. Срок службы ограничен половиной-срока службы, и точность обнаружения будет снижаться по мере ослабления радиоактивного источника.
2. Инфракрасные датчики используют принцип, согласно которому определенные инфракрасные полосы сильно поглощаются определенными пластиковыми пленками, для измерения толщины пленки. Датчик стабилен в обнаружении и не подвержен влиянию изменений окружающей среды, но он чувствителен к изменениям в добавках и цветах и не подходит для производства нескольких продуктов на одной производственной линии.
3. Рентгеновский датчик- использует рентгеновскую трубку для генерации рентгеновских- лучей в качестве источника сигнала для определения толщины пластиковой пленки. Преимуществ много: летающие радиоактивные материалы; низкое энергопотребление не требует лицензии; широкий диапазон измерений; высокая точность измерений; все виды пластмасс могут быть измерены без воздействия добавок и цветной маточной смеси.
В настоящее время прибор для измерения толщины пленки достиг высокой точности и автоматизации и достиг очень высокого уровня. Точность измерения составляет от ± 2% до ± 5% от измеренной толщины пленки для общего слоя пленки и ± 2 нм для тонкой пленки. Он имеет функцию измерения микроплощадей, высокую скорость измерения и высокую степень автоматизации. Особенно с развитием технологий и применением прецизионных инструментов, в дополнение к вышеупомянутым методам обнаружения, толщину пленки можно также измерить с помощью ультразвукового датчика. Ультразвуковой датчик MaxBotix, рекомендованный Gongcai-MB7480, представляет собой высокопроизводительный ультразвуковой прецизионный дальномер, обеспечивающий высокую точность и высокое разрешение ультразвукового измерения расстояния в воздухе.
